ヒートシンク、レーザモジュール、レーザ装置及びレーザ加工装置

冷媒の導入口及び排出口として１対の開口部を有し、一方の開口部から他方の開口部に向かって冷媒流路が平面視で左右対称に形成されている。この冷媒流路における発熱体と熱的に接続される領域に整合する領域に、冷媒流路の底面から上方に向かって又は上面から下方に向かって横断面が小さくなる末広がりの形状を有する突起が形成されている。この突起が形成された放熱板と、平板状の他の放熱板とを接合してヒートシンクを組み立てる。これにより、熱効率及び信頼性が優れ、低コストのヒートシンクと、それを使用したレーザモジュール、レーザ装置及びレーザ加工装置が得られる。