Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
10nm大量生産のための自己整合4重パターンと2重パターニングを用いた相互接続スタック【JST・京大機械翻訳】
10nm大量生産のための自己整合4重パターンと2重パターニングを用いた相互接続スタック【JST・京大機械翻訳】
2018
Yeoh Andrew W
A. Madhavan
N. Kybert
S. Anand
J Shin
M. Asoro
S. Samarajeewa
J. Steigerwald
C. Ganpule
M. Buehler
A. Tripathi
V. Souw
M. Haran
S. Nigam
V. Chikarmane
P. Yashar
T. Mule
Wu Y.-H.
Lee K.S
M. Aykol
K. Marla
P. Sinha
S. Kirby
H. Hiramatsu
W. Han
M. Mori
M. Sharma
H. Jeedigunta
M. Sprinkle
C. Pelto
M. Tanniru
Gerald S. Leatherman
Kevin J. Fischer
I. Post
C. Auth
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]
map