Parallelisierte chromatisch-konfokale Mikroskopie mit einem Mehrkanalspektrometer

Die konfokale Mikroskopie ist ein weit verbreitetes Verfahren der industriellen Messtechnik. Wir prasentieren ein chromatisch-konfokales Messsystem, das sich eines Farblangsfehlers zur parallelen Erfassung der Tiefeninformationen an mehreren lateralen Messpunkten bedient. Die Auswertung der Messdaten erfolgt mit einem Mehrkanalspektrometer.