Sonde de test paramétrique à couplage ac

Sonde pour contacter et tester des CI sur un dispositif semi-conducteur comprenant une pointe en materiau dielectrique isolant. La pointe en dielectrique ne contamine pas la surface qui est testee contrairement aux pointes de sonde en metal. En outre, un nettoyage du contact n'est pas requis car les signaux sont a couplage capacitif ou inductif entre la pointe de sonde et le CI. Les tests peuvent etre effectues pendant les premieres etapes de fabrication sur la plaquette sans avoir besoin d'appliquer une couche de metallisation sur la plaquette pour former des pastilles de contact. Les tests peuvent etre effectues par couplage inductif d'un signal AC avec la pointe de sonde, le couplage etant augmente en ajoutant un materiau magnetique dans la pointe de sonde dielectrique. L'utilisation d'un signal de test AC permet de tester les CI sans avoir besoin de connexions separees pour la tension et la terre.