Appareil de traitement au plasma et technique d'exploitation de celui-ci

1999 
Cet appareil, permettant de traiter sous vide au plasma des pieces a travailler, comporte des chambres a plasma (20). C'est un dispositif de manipulation qui assure la mise en place des pieces dans les chambres a plasma ainsi que leur retrait, en parallele, par des ouvertures menagees dans des parties laterales des chambres. Ce dispositif de manipulation, qui pivote autour d'un axe parallele aux ouvertures menagees dans les chambres, est pourvu de mecanismes de transport se deplacant de facon simultanee, radialement par rapport a l'axe de rotation, en l'occurrence en se rapprochant des ouvertures et en s'en eloignant.
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