Procédé pour le traitement d'un gaz brûlé contenant à la fois du silane gazeux et du fluor gazeux et installation de traitement de gaz brûlé pour le procédé

L'invention porte sur un procede pour le traitement d'un gaz brule par lequel des sous-produits formes par decomposition thermique d'un gaz brule contenant a la fois un silane gazeux et un fluor gazeux peuvent etre recuperes separement et de maniere efficace a des concentrations elevees ; et sur une installation pour celui-ci. Le procede est caracterise en ce qu'il comprend l'etape de decomposition thermique du gaz brule consistant a ajouter de l'oxygene, de l'humidite ou de l'hydrogene, selon les besoins, a un gaz brule (E) dans lequel un silane gazeux et un fluor gazeux sont incorpores simultanement ou successivement, et a soumettre le gaz brule resultant a une decomposition thermique pour former un gaz brule traite thermiquement (T), l'etape de recuperation de silice consistant a refroidir le gaz brule traite thermiquement (T) a une temperature qui est superieure ou egale a la temperature de vaporisation de l'eau et qui est inferieure ou egale a la temperature admissible la plus elevee d'un filtre a manches (32) pour capturer la poussiere de silice (qui est formee a partir du silane gazeux en tant que sous-produit dans l'etape de decomposition thermique du gaz brule) avec le filtre a manches (32), et ensuite l'etape de recuperation du fluor consistant a recuperer du fluorure d'hydrogene (qui est forme a partir du fluor gazeux en tant que sous-produit dans l'etape de decomposition thermique du gaz brule) a partir du gaz brule traite thermiquement (T).