光学薄膜、光学素子、光学系および光学薄膜の製造方法

平坦な超薄膜の銀含有金属層を備えた光学薄膜およびその製造方法、並びに光学薄膜を備えた光学素子、およびその光学素子を備えた光学系を提供する。基材側から、中間層、銀を含有する銀含有金属層、および誘電体層がこの順に積層されてなり、中間層と銀含有金属層との間に、Ｈａｍａｋｅｒ定数が７．３×１０−２０Ｊ以上であるアンカー金属拡散制御層を備え、アンカー金属拡散制御層と銀含有金属層との間に、銀含有金属層の表面エネルギー未満であり、アンカー金属拡散制御層の表面エネルギーよりも大きい表面エネルギーを有するアンカー金属の酸化物を含むアンカー領域を備え、銀含有金属層と誘電体層との間に、アンカー金属の酸化物を含むキャップ領域を備え、銀含有金属層、アンカー領域およびキャップ領域の合計の膜厚が６ｎｍ以下である光学薄膜とする。