Verfahren zum Einbringen eines Mikrolochs in ein vorzugsweise metallisches Werkstück und Vorrichtung hierzu

Es wird ein Verfahren zum Einbringen eines Mikrolochs in ein vorzugsweise metallisches Werkstuck (10) mittels eines Laserstrahls (22) angegeben, bei dem der Laserstrahl (22) auf das Werkstuck (10) fokussiert und der Fokus (23) fortlaufend auf einer zur Lochachse (24) konzentrischen Kreisbahn (25) entlangbewegt wird. Zur Erzielung einer hohen Lochqualitat ohne Materialaufwurfe und -grate ist der Laserstrahl (22) aus einer Folge von kurzen Laserpulsen zusammengesetzt, die eine konstante, sehr kleine Pulsdauer im Nanosekundenbereich, vorzugsweise kleiner als 100 ns, aufweisen (Fig. 2).